XRD测试含铜样品的方法

为了找到测试铜箔样品的最佳配置，这里对Cu箔样品在三种不同的配置下进行了尝试：

  ●   第一种：线焦斑Cu靶BB几何测试模式；

  ●   第二种：线焦斑Cu靶+GM镜测试模式；

  ●   第三种：线焦斑Co靶BB几何测试模式；

为了获得相近的角度分辨率，第一种和第三种配置的发散狭峰均为1.0mm，第二种配置中的镜子出口放置了0.2mm的出射狭缝。三种模式的测试结果如下图1所示：

▲图1：黑色曲线是第一种模式的测试结果，红色曲线是第二种模式的测试结果，蓝色曲线是第三种模式的测试结果

图1中三条XRD曲线的参数总结如下表1。

从表1数据可以看出，PB和SN效果最好的是第三种配置测试的结果。虽然第二种配置中PB的效果也不错，但是衍射峰的相对强度发生了变化，与另两种BB几何测试的衍射峰的相对强度有偏离。

表1：三种模式测试铜箔样品的结果统计：

为了更直观地对比测试结果，三条曲线进行归一化后的结果如图2所示。从图2中可以看出，在衍射峰的最高值保持一致的情况下，第一种模式的背景最高，第二种和第三种模式的背景都很低，并且第二种和第三种模式的背景强度基本一致。另外，第三种模式的背景波动幅度最小，也就是说第三种模式的噪音最低。由此可以看出测试Cu箔的最佳配置是第三种模式，即线焦斑Co靶BB几何测试模式。

▲图2：图1中的三条曲线进行强度的归一化后如图2所示。为了更清晰地对比三条曲线的背景，图2中的纵轴也采用的平方根的形式表示。